蓝特光学
LANTE OPTICS
制程
光刻胶涂布
旋涂
胶厚精度≤3%
（适用于平面）
喷涂
胶厚精度≤10%
（适用于平面/凹凸面）
光刻
精度 2um
套准精度：0.15um
显影
精度2um
显影均匀性<5%
蚀刻
看不清，换一张
