高精度ガラスウエハー

技術規格展示

パラメータ ガラスウェハ規格
材料 ガラス、石英など
外径 4”、6”、8”、12”  など
外径公差 +/-0.1mm
最小厚さ 0.2mm(< 6”)、0.3mm(8”)、0.35mm(12”)
TTV <1μm
BOW <20μm
WARP <30μm
外観 20-10
粗度 Ra<1nm
面取り 45°、C0.2+/-0.1mm
コーティング 增透膜、反射膜、分光膜など

  * 備考:要求通り


パラメータ ガラスウェハ規格
材料 ガラス、石英など
外径 4”、6”、8”、12”  など
外径公差 +/-0.1mm
最小厚さ 0.2mm(< 6”)、0.3mm(8”)、0.35mm(12”)
TTV <1μm
BOW <20μm
WARP <30μm
外観 20-10
粗度 Ra<1nm
面取り 45°、C0.2+/-0.1mm
コーティング 增透膜、反射膜、分光膜など

  * 備考:要求通り


ケース用の用途

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